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기가포톤, ArF 엑시머 레이저용 가스 재활용 시스템 개발
오야마, 일본--(Business Wire/뉴스와이어)--반도체 리소그래피용 광원 제조업체인 기가포톤(Gigaphoton Inc.) (본사: 도치기현 오야마시, 사장 겸 최고경영자: 에나미 타츠오(Tatsuo Enami))은 ArF 엑시머 레이저용 현장 네온 가스 재활용 시스템인 ArF용 hTGM(hTGM...
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